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        技術(shù)文章/ ARTICLE
        
      
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           功率放大器在UV-CMP拋光機中的應(yīng)用
            
          20261-20
          
          
          
          
          
            
            
          UV-CMP拋光機有兩種工作模式：連接超聲振動信號和關(guān)閉超聲振動信號接入。UV-CMP拋光機的設(shè)備工作步驟如下：第一，超聲信號發(fā)生器生成一定頻率和波形的電信號；第二，超聲電信號傳輸給功率放大器，使電信號達(dá)到超聲轉(zhuǎn)換裝置工作的電壓和功率；第三，放大的電信號傳輸給超聲轉(zhuǎn)換裝置，使得超聲電信號轉(zhuǎn)換成同頻率的機械振動。經(jīng)過上面的三個步驟，CMP拋光機升級為UV-CMP，傳統(tǒng)的化學(xué)機械拋光也升級為超聲振動輔...
          
            
          
          
        
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