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        • 功率放大器在UV-CMP拋光機(jī)中的應(yīng)用
          20261-20

          UV-CMP拋光機(jī)有兩種工作模式:連接超聲振動(dòng)信號(hào)和關(guān)閉超聲振動(dòng)信號(hào)接入。UV-CMP拋光機(jī)的設(shè)備工作步驟如下:第一,超聲信號(hào)發(fā)生器生成一定頻率和波形的電信號(hào);第二,超聲電信號(hào)傳輸給功率放大器,使電信號(hào)達(dá)到超聲轉(zhuǎn)換裝置工作的電壓和功率;第三,放大的電信號(hào)傳輸給超聲轉(zhuǎn)換裝置,使得超聲電信號(hào)轉(zhuǎn)換成同頻率的機(jī)械振動(dòng)。經(jīng)過(guò)上面的三個(gè)步驟,CMP拋光機(jī)升級(jí)為UV-CMP,傳統(tǒng)的化學(xué)機(jī)械拋光也升級(jí)為超聲振動(dòng)輔...

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