ATA-4315高壓功率放大器驅動聲流控的TGV微通道無泵填充技術研究

　　實驗名稱：ATA-4315高壓功率放大器在聲流誘導TGV內液體介質填充中的應用

　　實驗內容：利用高壓功率放大器（AIGTEK的ATA-4315）對信號放大以驅動壓電換能器；壓電元件向帶有不同規格TGV的基板均勻輻射超聲波，以誘導完成TGV內液體介質進行填充。結合數值分析，探討了驅動電壓幅值和盲孔深寬比對填充速度和氣泡運動特性的影響。

　　研究方向：TGV先進封裝設備與工藝

　　測試設備：ATA-4315高壓功率放大器，信號發生器，高速相機，示波器等。

　　實驗過程：

　　在噴涂單元中，工業噴頭在控制系統的信號驅動下向基板均勻噴涂液體，并按照規劃進行往復運動。在驅動單元和超聲輔助裝置中，信號發生器由直流電源供電，將直流信號轉換為正弦波信號，并通過高壓功率放大器（AIGTEK的ATA-4315）對電壓波形進行放大。超聲換能器通過逆壓電效應將交流信號轉換超聲振動，進而向帶有微結構孔的基板均勻輻射聲波，以輔助完成TGV深孔填充。

　　實驗結果：

　　該裝置特定參數下可以穩定促進氣泡排出以實現填充。在電壓峰-峰值Vp-p=160V，頻率f=522.5kHz的正弦波驅動下，直徑1/1.5mm，深寬比1:2/1:3的TGV均可以實現理想填充效果。將微孔內液體的填充劃分為兩個階段：超聲誘導潤濕面擴展以實現潤濕狀態，和促進被困氣泡段提升排出微孔。

　　功率放大器推薦：ATA-4315

圖：ATA-4315高壓功率放大器指標參數

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