MEMS光柵驅動之功率放大器應用

MEMS（微機電系統）是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。Aigtek功率放大器可來驅動各種MEMS系統器件，常見的產品有 MEMS 麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS 光學傳感器、MEMS 壓力傳感器等等。

MEMS 光柵應用測試：

MEMS 光柵采用了硅微加工工藝技術，在外力作用下使光柵的某些特征參數（如周期、光柵等常數）發生改變，從而實時改變光柵的工作性能，實現光柵的可編程應用。MEMS 光柵具有多種驅動方式，而靜電驅動的 MEMS 光柵，由于其工藝易于實現、耗能低、頻率響應高，因此是常用的驅動方式。

靜電驅動的能量密度較小，當結構需要比較大的工作位移（微米級），就必須增大驅動電壓，驅動電壓甚至達到上百伏。Aigtek功率放大器可輸出200Vpp~1600Vpp 的電壓范圍，40mA~500mA 的電流輸出能力，是可以滿足新型的 MEMS 相關應用的動態驅動測試。MEMS光柵基于其*的優勢，MEMS 光柵已經用于光通信、高清顯示設備、光譜分析等領域。

ATA-2000 系列功率放大器，可以輸出理想的單端及差分信號，為 MEMS 領域的研究提供了快捷的工具。同時該系列功率放大器，設計了良好的過壓，過流，短路保護裝置，同時為了更好的為 MEMS 測試客戶應用，提供的完善的阻抗匹配網絡，方便用戶選擇對應的匹配阻抗。 

ATA-2042功率放大器是Aigtek公司生產的寬頻雙通道高壓電源產品，電壓范圍（0-400Vpp），具有穩定的輸出電壓、電流、雙通道同步輸出等特點，同時具有過流、過溫保護功能。適用于驅動高壓型負載，可放大交、直流信號，輸出電流100mA，電壓增益數控0~60倍可調，液晶屏幕顯示，一鍵保存常用設置，可與任意品牌信號發生器配套使用，實現任意波形信號的完美放大。